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CVD化学气相沉积碳镀膜机

单价(¥)
500000.00
品牌
大华
规格
DH-30-700
库存
0
最小起订量
≥1台
发布日期
2021年11月19日
联系人
王远
手机号码
18506231559
固定电话
4001138768
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CVD化学气相沉积碳镀膜机特点:

■采用多层隔板设计,批量处理模压光学镜片的碳镀膜工艺,每炉可放数千个镜片;
■智能化PLC程序升温程序,真空程序,CVD进气程序,操作简单方便;
■优质干式真空泵,杜绝油液污染,可选择国产干式泵和进口干式泵;
■智能化CVD进气控制系统,适应于氮气、乙炔/甲烷、氩气、空气的通入和混合;
■的密封系统,泄漏率低,长期使用稳定性高;

CVD化学气相沉积碳镀膜机详细资料:

主要用途
■适用于模压非球面光学玻璃镜片的碳镀膜工艺;
■适应于半导体行业晶圆表面薄膜生长;
■可用于陶瓷及单晶体表面沉积碳纳米管工艺;


产品技术参数
产品型号: DH-30-700(大华)
高温度: 700℃;
使用气氛: 氮气、氩气、空气、二氧化碳、乙炔、甲烷、合气体;
长期使用:400-700℃;
波 动 度: ±1℃;
显示精度: 0.1℃;
均 匀 度: 容积30L;
进气流量:三路MFC质量流量计控制,一路浮子流量计控制;
升降系统: 两套伺服升降系统平台;
控制系统:智能程序化PLC控制系统;
真空泵真空度: 极限真空1Pa;
腔内真空度:≤10Pa;
降温要求:外置冷却风机,降温阶段强制降温;
整机功率: 18KW;
电 源 : 380V, 50Hz;
水冷装置:优质水冷机,PLC联机控制
;ぷ爸茫 过载、过流、过压;,接地,热电偶异常报警,第二回路超温报警;ぷ爸;冷却水温;,压力过载;;

技术服务: 提供设备使用过程中的技术咨询和支持,接到客户故障通知3个工作时内立即响应。

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